[19p-E14-1~21] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-E14-8] ミニマルマスクアライナー装置の露光性能

^○梅山規男¹，犬塚善樹^1,2，ソマワンクンプアン^1,3，原史朗^1,3 (ミニマルファブ技術研究組合¹，三明²，産総研³)

キーワード：アライナー,ミニマルファブ