Conductive DLC Film Prepared by NBECVD for Bio-LSI Sensor

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一般セッション(口頭講演)

12．有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.7 医用工学・バイオチップ

[19p-E15-1~17] 12.7 医用工学・バイオチップ

2014年3月19日(水) 13:15 〜 17:45 E15 (E303)

17:15 〜 17:30

^○昌錫江¹，菊池良幸^1,2，中野雅識³，井上久美^3,4，末永智一^3,4,5，野沢俊久²，寒川誠二^1,5 (東北大流体研¹，東京エレクトロン²，東北大環境³，東北大マイクロシステム融合研究開発センター⁴，東北大WPI-AIMR⁵)

キーワード：導電性カーボン膜,中性粒子ビーム化学気相成長,バイオセンサー