PDF ダウンロード スケジュール 5 いいね! 0 14:00 〜 14:15 [19p-E15-4] 真空中細胞観察のための薄膜Si窓を有するマイクロチャネル ○林秀樹,戸田雅也,小野崇人 (東北大院工) キーワード:マイクロチャネル,シリコン薄膜