2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

12.有機分子・バイオエレクトロニクス » 12.6 ナノバイオテクノロジー

[19p-E17-1~20] 12.6 ナノバイオテクノロジー

2014年3月19日(水) 13:15 〜 18:45 E17 (E305)

16:00 〜 16:15

[19p-E17-11] 斜め蒸着膜により高感度化された光導波路センサー

栗山頌平,高垣宗寛,名村今日子,中嶋薫,木村健二,鈴木基史 (京大工院)

キーワード:光導波路センサー,動的斜め蒸着法,ナノコラム