[19p-E17-1~20] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[19p-E17-6] サイドゲート型極薄膜チャネルナノポアFETセンサ

^○柳至¹，大浦剛²，芳賀孝信¹，安藤正彦¹，山本治朗¹，峰利之¹，石田剛¹，波多野利行¹，赤堀玲奈¹，横井崇秀¹，穴沢隆¹，後藤康¹ (日立製作所中央研究所¹，日立ハイテクノロジーズ²)

キーワード：ナノポア