[19p-E18-7~19] 17.4 デバイス応用

[19p-E18-19] フレキソ印刷によるカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの高速製造技術 -微細トップゲート素子の作製-

^○前田迪彦¹，樋口健太郎¹，岸本茂¹，中嶋勇太²，外村卓也²，武居正史²，畑克彦²，大野雄高¹ (名大工¹，バンドー化学²)

キーワード：カーボンナノチューブ,フレキソ印刷,トランジスタ