[19p-E18-1~6] 17.2 構造制御・プロセス

[19p-E18-6] 原子層状MoS₂のエッチング：光学コントラストによる層数評価

^○二之宮成樹¹，森貴洋²，内田紀行²，渡辺英一郎³，津谷大樹³，森山悟士³，宮田典幸²，安田哲二²，田中正俊¹，安藤淳² (横国大院工¹，産総研²，物材機構³)

キーワード：MoS2,トランジスタ,エッチング