2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.3 新機能探索・基礎物性評価

[19p-E2-1~9] 17.3 新機能探索・基礎物性評価

2014年3月19日(水) 13:15 〜 15:30 E2 (E102)

13:15 〜 13:30

[19p-E2-1] 高圧O2アニールによる2層グラフェン上Y2O3ゲート絶縁膜の電気的絶縁性の向上

金山薫,長汐晃輔,西村知紀,鳥海明 (東大院工)

キーワード:2層グラフェン,ゲート絶縁膜,高圧O2アニール