[19p-E5-1~21] 12.1 作製・構造制御

[19p-E5-14] 対向ターゲットスパッタ法を用いた電極形成時に生じる有機デバイスへのダメージの原因解析

^○末森浩司，星野聰，茨木伸樹，鎌田俊英 (産総研)

キーワード：対抗ターゲット,有機デバイス