[19p-E8-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-E8-13] 酸化タンタル膜の抵抗変化スイッチ現象におけるSET時間の起源

^○西義史^1,2，StephanMenzel¹，KarstenFleck¹，UlrichBoettger¹，RainerWaser¹ (アーヘン工大¹，東芝研開セ²)

キーワード：抵抗変化,酸化タンタル,TaOx