[19p-F1-1~16] 2.1 放射線物理一般・検出器基礎

[19p-F1-16] γ線照射による厚いシリコン酸化膜の閾値電圧変化Ⅱ

^○吉沢勝美¹，秋山周哲¹，相澤淳¹，石井邦¹，大塚正志²，中田智成²，渡辺温²，持木幸一³ (パイオニアマイクロテクノロジー¹，パイオニア²，東京都市大³)

キーワード：放射線耐性,シリコン酸化膜,閾値電圧変化