2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月19日(水) 13:30 〜 18:45 F12 (F408)

17:45 〜 18:00

[19p-F12-17] 単一金属ゲート電極を用いた多結晶ゲルマニウムノーマリーオフジャンクションレス p-&n-MISFETs

鎌田善己,小池正浩,上牟田雄一,黒澤悦男,手塚勉 (産総研GNC)

キーワード:germanium,3D-IC,junctionless