[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-2] 数nm-CMOS素子用二次元Siの検討(Ⅶ):量子的閉じ込め効果のドナー/アクセプター濃度依存性

^○中原雄太¹，永田祐介¹，鈴木佑弥¹，青木孝¹，鮫島俊之²，水野智久¹ (神奈川大理¹，東京農工大工²)

キーワード：ドナー,アクセプター