2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月19日(水) 13:30 〜 18:45 F12 (F408)

13:45 〜 14:00

[19p-F12-2] 数nm-CMOS素子用二次元Siの検討(Ⅶ):量子的閉じ込め効果のドナー/アクセプター濃度依存性

中原雄太1,永田祐介1,鈴木佑弥1,青木孝1,鮫島俊之2,水野智久1 (神奈川大理1,東京農工大工2)

キーワード:ドナー,アクセプター