2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月19日(水) 13:30 〜 18:45 F12 (F408)

18:30 〜 18:45

[19p-F12-20] 基板貼り合わせ法によるGaSb-OI on Si基板の作製とGaSb-OI p-MOSFETの動作実証

横山正史1,西康一1,2,横山春喜3,竹中充1,2,高木信一1,2 (東大院工1,JST CREST2,NTTフォトニクス研3)

キーワード:GaSb