2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年3月19日(水) 13:30 〜 18:45 F12 (F408)

14:00 〜 14:15

[19p-F12-3] SOI MOSFET単一フォトン検出器の性能予測

中神裕揮1,DedySeptonoCaturPutranto1,2,佐藤弘明1,小野篤史1,PurnomoSidiPriambodo2,DjokoHartanto2,猪川洋1 (静岡大1,インドネシア大2)

キーワード:SOI MOSFET