[19p-F12-1~20] 13.4 デバイス/集積化技術

[19p-F12-3] SOI MOSFET単一フォトン検出器の性能予測

^○中神裕揮¹，DedySeptonoCaturPutranto^1,2，佐藤弘明¹，小野篤史¹，PurnomoSidiPriambodo²，DjokoHartanto²，猪川洋¹ (静岡大¹，インドネシア大²)

キーワード：SOI MOSFET