[19p-F3-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[19p-F3-4] 反応性プラズマ中のナノ粒子成長とプラズマ揺らぎ

^○白谷正治¹，古閑一憲¹，内田儀一郎²，鎌滝晋礼¹，徐鉉雄¹，板垣奈穂¹ (九大シス情¹，阪大接合研²)

キーワード：ナノ粒子,反応性プラズマ,揺らぎ