2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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分科企画シンポジウム

分科企画シンポジウム » 真空の制約を超える:電子やイオンを用いた分析法の実環境測定への挑戦

[19p-F7-1~7] 真空の制約を超える:電子やイオンを用いた分析法の実環境測定への挑戦

2014年3月19日(水) 14:00 〜 17:30 F7 (F307)

14:00 〜 14:15

[19p-F7-1] 電子で観る・イオンで測る:物理分析と真空技術(15分)

中村健 (産総研)

キーワード:真空,分析