2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

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分科企画シンポジウム

分科企画シンポジウム » 真空の制約を超える:電子やイオンを用いた分析法の実環境測定への挑戦

[19p-F7-1~7] 真空の制約を超える:電子やイオンを用いた分析法の実環境測定への挑戦

2014年3月19日(水) 14:00 〜 17:30 F7 (F307)

17:00 〜 17:30

[19p-F7-7] 低真空二次イオン質量分析法(Wet-SIMS)の開発(30分)

松尾二郎,草刈将一,藤井麻樹子,青木学聡,瀬木利夫 (京大院工)

キーワード:SIMS