[19p-F8-1~17] 5.3 光制御

[19p-F8-15] MZIアレイ評価用炭酸ガスレーザ照射法の位相測定精度

^○（M2）吉田篤史¹，青野光好¹，千葉明人¹，高田和正¹，岡本勝就² (群大院工¹，AiDi社²)

キーワード：MZI