[19p-F8-1~17] 5.3 光制御

[19p-F8-3] 低温成長シリコン導波路の電流注入屈折率変化

^○武井亮平^1,2，前神有里子^1,2，眞子祥子^1,2，面田恵美子^1,2，吉田知也^1,2，藤方潤一^2,3，榊原陽一^1,2，森雅彦^1,2，亀井利浩^1,2 (産総研¹，PECST²，PETRA³)

キーワード：アモルファスシリコン,シリコンフォトニクス,光変調器