[19p-F8-1~17] 5.3 光制御

[19p-F8-7] 自己平坦化n⁺ Ge埋め込み成長技術を用いた超小型butt接合Ge受光器の開発

^○三浦真^1,2，藤方潤一^1,2，野口将高^1,2，荒川泰彦^1,3 (PECST¹，PETRA²，東大生研³)

キーワード：受光素子,ゲルマニウム,エピタキシャル成長