[19p-F8-1~17] 5.3 光制御

[19p-F8-9] ホールアレイ型金属回折格子付SOIフォトダイオードにおける分光感度特性

^○佐藤弘明^1,2，岩田将平¹，小野篤史^1,2，猪川洋^1,2 (静岡大電子研¹，静岡大工²)

キーワード：回折格子,分光感度特性,SOIフォトダイオード