[19p-PA5-1~7] 1.7 計測技術

[19p-PA5-3] パルス光伝導法による絶縁膜評価装置用の高繰り返し周波数を持つ光源の開発

^○深純平²，ジャスティンンダギジマナ²，古田正昭²，小林一博²，久保田弘²，吉岡昌雄¹，清水公志朗¹ (熊大工¹，熊大院自²)

キーワード：絶縁膜評価