[19p-PG2-1~12] 13.2 絶縁膜技術

[19p-PG2-3] シリコン表面の酸化膜密度分布

^○（M2）土井修平，林真理子，蓮沼隆，山部紀久夫 (筑波大)

キーワード：膜密度,シリコン