[19p-PG2-1~12] 13.2 絶縁膜技術

[19p-PG2-6] ALD法によるAlジャーマネイト絶縁層を用いたGe-MIS構造における界面近傍トラップのDLTS評価

^○成田英史¹，福田幸夫²，王谷洋平²，梁池昂生²，花田毅広²，石崎博基²，岡本浩¹ (弘前大¹，諏訪東理大²)

キーワード：Ge-MIS,DLTS