[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-1] Sub-1G ＭＥＭＳ加速度センサの検討

^○山根大輔¹，小西敏文²，松島隆明²，伊藤浩之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTTアドバンステクノロジ²，東大³)

キーワード：MEMS,加速度センサ,Accelerometer