2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月19日(水) 16:00 〜 18:00 PG3 (G棟2階)

16:00 〜 18:00

[19p-PG3-1] Sub-1G MEMS加速度センサの検討

山根大輔1,小西敏文2,松島隆明2,伊藤浩之1,石原昇1,年吉洋3,町田克之1,2,益一哉1 (東工大1,NTTアドバンステクノロジ2,東大3)

キーワード:MEMS,加速度センサ,Accelerometer