[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-30] 超臨界CO₂流体中におけるCu薄膜の凝集ならびに拡散挙動

^○渡邉満洋，中村良輝，近藤英一 (山梨大)

キーワード：超臨界流体,銅,拡散