[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-31] SAB 法による深いメサ構造を有するSi/Si接合における寄生容量の低減

^○竹村光司，森本雅史，西田将太，梁剣波，重川直輝 (阪市大)

キーワード：半導体