[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-6] MEMS大気圧プラズマ光源の省電力化

佐藤龍仁¹，熊谷慎也¹，堀勝²，^○佐々木実¹ (豊田工大¹，名大²)

キーワード：MEMS大気圧プラズマ源,省電力,光源