[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [19p-PG3-8] 構造体側面へのPZT成膜と評価構造体作製

^○森上慎悟，井上純一，梶村尚伍，神田健介，藤田孝之，前中一介 (兵庫県立大)

キーワード：PZT,MEMS