[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [19p-PG3-9] PZT薄膜を用いた並列接続型スパイラルアクチュエータ

^○佐野良，井上純一，神田健介，藤田孝之，前中一介 (兵庫県立大)

キーワード：PZT