2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[19p-PG3-1~32] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2014年3月19日(水) 16:00 〜 18:00 PG3 (G棟2階)

16:00 〜 18:00

[19p-PG3-9] PZT薄膜を用いた並列接続型スパイラルアクチュエータ

佐野良,井上純一,神田健介,藤田孝之,前中一介 (兵庫県立大)

キーワード:PZT