2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

04.量子エレクトロニクス » 4.7 レーザー・プロセッシング

[20a-D1-1~9] 4.7 レーザー・プロセッシング

2014年3月20日(木) 09:30 〜 12:15 D1 (D107)

11:00 〜 11:15

[20a-D1-5] High-quality metal patterning in glass microfluidic structures using water-assisted femtosecond laser direct-write ablation followed by electroless plating

JianXu,河野弘幸,呉東,緑川克美,杉岡幸次 (理研)

キーワード:metal patterning,femtosecond laser modification,electroless plating