[20a-D3-1~11] 14.1 探索的材料物性

[20a-D3-10] 真空蒸着法によるSi基板上へのBaSi₂薄膜の作製

^○（B）中川慶彦¹，原康祐^1,2，宇佐美徳隆^1,2，末益崇^2,3 (名大工¹，JST-CREST²，筑波大³)

キーワード：バリウムシリサイド,真空蒸着