[20a-D3-1~11] 14.1 探索的材料物性

△ [20a-D3-11] 真空蒸着法によるガラス基板上へのBaSi₂薄膜の作製と評価

^○原康祐^1,2，中川慶彦¹，宇佐美徳隆^1,2，末益崇^2,3 (名大院工¹，JST-CREST²，筑波大院³)

キーワード：バリウムシリサイド,真空蒸着,太陽電池