[20a-D3-1~11] 14.1 探索的材料物性

[20a-D3-3] BaSi₂エピタキシャル膜におけるPの拡散係数評価

^○（M1）章寧¹，馬場正和¹，WeijieDu¹，小池信太郎¹，高部涼太¹，都甲薫¹，末益崇^1,2 (筑波大¹，CREST-JST²)

キーワード：半導体,拡散係数