[20a-D3-1~11] 14.1 探索的材料物性

[20a-D3-8] DLTS法によるアンドープn-BaSi₂エピタキシャル膜中の欠陥準位評価

^○武内大樹¹，WeijieDu¹，馬場正和¹，高部涼太¹，都甲薫¹，末益崇^1,2 (筑波大院¹，JST-CREST²)

キーワード：BaSi2,DLTS