11:00 〜 11:15
[20a-D9-8] 3次元プロセスシミュレータの開発
キーワード：TCAD,プロセス,半導体
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション
[20a-D9-1~10] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション
2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 D9 (D315)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション
2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 D9 (D315)
11:00 〜 11:15
キーワード：TCAD,プロセス,半導体