[20a-E13-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-E13-3] UHVスパッタエピタキシーによるInN層の成長

^○小橋勇希，多田暁由，福井迪，笹原駿介，比留間翔太，増田貴則，篠田宏之，六倉信喜 (東京電機大)

キーワード：InN,sputter