11:30 〜 11:45
[20a-E14-10] NiSi/Siショットキー障壁を変調する硫黄不純物の電子状態解析
キーワード：NiSi/Si,ショットキー
講演情報
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
[20a-E14-1~10] 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)
一般セッション(口頭講演)
13．半導体A（シリコン） » 13.3 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 E14 (E302)
11:30 〜 11:45
キーワード：NiSi/Si,ショットキー