[20a-E2-1~12] 17.4 デバイス応用

[20a-E2-6] CVD成長多層グラフェンの20nm幅細線の作製と評価

^○中野美尚，周波，井亜希子，近藤大雄，林賢二郎，高橋慎，八木克典，佐藤信太郎，横山直樹 (産総研)

キーワード：グラフェン,配線,細線化