[20a-F1-1~14] 2.2 検出器開発

[20a-F1-12] 宇宙および地上応用に向けたTES型X線マイクロカロリメータアレイの三次元実装

^○永吉賢一郎¹，酒井和広¹，満田和久¹，山崎典子¹，竹井洋¹，前畑京介²，前田亮²，江崎翔平²，高野彬²，伊代本直子²，原徹³，田中啓一⁴ (宇宙航空研究開発機構¹，九大²，物材機構³，日立ハイテク⁴)

キーワード：TES,X-ray,TEM