11:15 〜 11:30
▼ [20a-F10-9] Self-accelerating oxidation at oxide/Si(111) interfaces studied by real-time photoelectron spectroscopy
キーワード:界面酸化,リアルタイム光電子分光法,シリコン酸化
一般セッション(口頭講演)
13.半導体A(シリコン) » 13.5 Si-English Session
2014年3月20日(木) 09:00 〜 12:30 F10 (F406)
11:15 〜 11:30
キーワード:界面酸化,リアルタイム光電子分光法,シリコン酸化