2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

09.応用物性 » 9.1 誘電材料・誘電体

[20a-F11-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

2014年3月20日(木) 09:00 〜 11:45 F11 (F407)

10:45 〜 11:00

[20a-F11-8] イオン照射によるYSZの結晶崩壊と熱処理による回復

金子昇司,堀井陽介,森本貴明,大木義路 (早大)

キーワード:High-k, Dielectric, YSZ, Crystal, Ion Irradiation, Anneal, ESR, XRD