[20a-F11-1~11] 9.1 誘電材料・誘電体

△ [20a-F11-8] イオン照射によるYSZの結晶崩壊と熱処理による回復

^○金子昇司，堀井陽介，森本貴明，大木義路 (早大)

キーワード：High-k, Dielectric, YSZ, Crystal, Ion Irradiation, Anneal, ESR, XRD