2014年第61回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

06.薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[20a-F7-1~9] 6.5 表面物理・真空

2014年3月20日(木) 09:30 〜 12:00 F7 (F307)

10:30 〜 10:45

[20a-F7-5] 化学機械研磨処理したGaN(0001)表面の菊池線を用いた格子歪み評価

中田淳也1,小山浩司2,戸坂亜希1,重田諭吉1 (横浜市大院生命ナノ1,並木精密宝石2)

キーワード:回折