[20a-PA1-1~10] 6.4 薄膜新材料

[20a-PA1-3] MoSi₂-Si複合体薄膜の抵抗率の温度依存性

^○木谷僚介，佐藤祐喜，吉門進三 (同志社大)

キーワード：二珪化モリブデン‐ケイ素複合体薄膜,温度依存性