[20a-PA1-1~10] 6.4 薄膜新材料

[20a-PA1-5] DCパルススパッタを用いた中間酸化膜の作製

^○室幸市¹，石井清¹，佐久間洋志¹，田中俊次²，田中浩己² (宇都宮大工¹，タナカ技研²)

キーワード：DCパルススパッタ,反応性スパッタ,中間酸化膜