[20a-PG1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-PG1-17] RFスパッタリング法によるGaN薄膜の低温成長と熱処理効果に関する研究

青砥伸平¹，^○豊田英之¹，柴田知也¹，齋藤真司²，内富直隆¹ (長岡技科大¹，東芝²)

キーワード：GaN,sputtering