[20a-PG1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20a-PG1-7] AlGaN/GaN結晶成長に用いる炭化Si表面のXPS解析

^○（M2）坂本達哉^1,2，高橋言緒²，井手利英²，清水三聡²，生方映徳³，佐藤貴之³，田渕俊也³，高梨良文¹ (東理大院¹，産総研²，大陽日酸³)

キーワード：GaN,結晶成長